top of page
![](https://static.wixstatic.com/media/c14987_851fa5b5e59849d8a99c8a4a06e36346~mv2.gif)
Society5.0を支える半導体の製造プロセスにおける温室効果ガス排出抑制
(株)荏原製作所
半導体製造プロセスにおける排ガスの無害化
![Photo](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_1624762de0b64b0fb7b1ac8e21217b2c~mv2.png/v1/fill/w_453,h_255,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/4b2861_1624762de0b64b0fb7b1ac8e21217b2c~mv2.png)
荏原グループが2030年にありたい姿E-Vision2030のマテリアリティの一つ「持続可能な社会づくりへの貢献」の達成へのアプローチとして、半導体製造プロセスにおいて発生する温室効果ガス処理量の拡大に取り組んでいます。IoT、クラウド、AI、自動運転、5GなどSociety5.0に欠かせない技術を支える半導体は、その製造プロセスにおいて地球温暖化係数が極めて大きく、人体に有害で可燃性のあるガスを排出します。その排出抑制は半導体業界の共通課題です。荏原はガスの分解、無毒化、安全な処理、無臭化に優れた排ガス処理装置を提供し、Society5.0が実現する社会の礎である半導体工場の作業者や周辺地域の安全と環境対策までを含む持続可能な社会づくりを目指しています。
関連するSDGs目標・ターゲット
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_71,h_71,al_c,lg_1,q_80,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_5d2246902e1c4dafb1c9dd64b5ca4944~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,lg_1,q_80,enc_auto/4b2861_5d2246902e1c4dafb1c9dd64b5ca4944~mv2.jpg)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_5d2246902e1c4dafb1c9dd64b5ca4944~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,lg_1,q_80,enc_auto/4b2861_5d2246902e1c4dafb1c9dd64b5ca4944~mv2.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![nullitem_edited.jpg](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_44f2ec5b3c0d445aaeb8c407150ff525~mv2.jpg/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_80,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/nullitem_edited.jpg)
![sdg.png](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_32dbb0c355fa4f159049042a9026e8f9~mv2.png/v1/fill/w_46,h_46,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,enc_auto/sdg.png)
.
.
.
提供状況
提供済み
開始(予定)時期:
2019年11月
Society 5.0との関連
![](https://static.wixstatic.com/media/c14987_5f27561cacc142d89c1742f92d692173~mv2.png/v1/fill/w_75,h_75,al_c,lg_1,q_85,blur_3,enc_auto/c14987_5f27561cacc142d89c1742f92d692173~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/c14987_ae60b84de1514e60aa5173880d793937~mv2.png/v1/fill/w_73,h_73,al_c,lg_1,q_85,blur_3,enc_auto/c14987_ae60b84de1514e60aa5173880d793937~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/c14987_2f42c7c668d04f69a738345036882677~mv2.png/v1/fill/w_72,h_72,al_c,lg_1,q_85,blur_3,enc_auto/c14987_2f42c7c668d04f69a738345036882677~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/c14987_8d7c4208389846b583c48e63be9f32e4~mv2.png/v1/fill/w_72,h_72,al_c,lg_1,q_85,blur_3,enc_auto/c14987_8d7c4208389846b583c48e63be9f32e4~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/c14987_716054fda8f442418329a6ee2c0bec83~mv2.png/v1/fill/w_72,h_72,al_c,lg_1,q_85,blur_3,enc_auto/c14987_716054fda8f442418329a6ee2c0bec83~mv2.png)
IoT、
ロボット
ビッグデータ
AI
オープン
イノベーション
その他
パートナー
Society5.0の技術に欠かせない半導体製造プロセスの環境負荷低減
展開国・地域
.
西ヨーロッパ
今後の目標/KPI等
2030年にCO2約1億トン相当の温室効果ガスを削減する。
定性的評価・実績例
半導体製造プロセスで発生するガスを無害化することによって、GHG排出の削減に貢献
定量的評価・実績例
排ガス処理装置使用による温室効果ガス排出の削減
2022目標:100%
2020実績: 40%
URL(詳細)
.
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_d9eb01dc8b154b99b4b6e9ce0b4dad3d~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_d9eb01dc8b154b99b4b6e9ce0b4dad3d~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_b8a002f987d04ffa92ac340703f776fb~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_b8a002f987d04ffa92ac340703f776fb~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_d9eb01dc8b154b99b4b6e9ce0b4dad3d~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_d9eb01dc8b154b99b4b6e9ce0b4dad3d~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_47482d9488454940b85a2290ee8e54d0~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_47482d9488454940b85a2290ee8e54d0~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_09cd0cefa3a14d1f936ba256343f9a5b~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_09cd0cefa3a14d1f936ba256343f9a5b~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_47482d9488454940b85a2290ee8e54d0~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_47482d9488454940b85a2290ee8e54d0~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_5a0b3ca8313045deb5b98d03892ef847~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_5a0b3ca8313045deb5b98d03892ef847~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_72b7362dd6d243fab69359aed3ae1da1~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_72b7362dd6d243fab69359aed3ae1da1~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_5a0b3ca8313045deb5b98d03892ef847~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_5a0b3ca8313045deb5b98d03892ef847~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_ec5e1c6936b24c71adff3803c6b9346e~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_ec5e1c6936b24c71adff3803c6b9346e~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_822f3e16267f467485146c7c1a9273ac~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_822f3e16267f467485146c7c1a9273ac~mv2.png)
![](https://static.wixstatic.com/media/4b2861_ec5e1c6936b24c71adff3803c6b9346e~mv2.png/v1/fill/w_45,h_45,al_c,q_85,usm_0.66_1.00_0.01,blur_3,enc_auto/4b2861_ec5e1c6936b24c71adff3803c6b9346e~mv2.png)
ページを閉じる、前ページに戻るなどの操作はブラウザ上で行って下さい。
bottom of page